氖、氦、臭氧等微量气体。大气里除水汽和固体杂质外的整个混合气体叫干洁大气。干洁大气里主要成分是氧、氮、氩、二氧化碳，另外还有微量气体。
按体积计算，干洁大气里氮占78.08％，氧占20.95％，氩占0.93％，二氧化碳占0.03％，其他气体合起来还不到0.01％。90千米以下，干洁大气成分的比大致不变。
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